全國統(tǒng)一電話
序號 | 項(xiàng)目 | 規(guī)格 |
1 | Material 材料 | High Purity Monocystalline Al?O? (≥99.996%) |
2 | Orientation 表面晶向 Cto M | C-plane(0001) off to M-plane (1100) 0.2±0.1°; |
3 | Orientation 表面晶向 C to A | 0.00±0.1° |
4 | Primary Flat to 主定位邊晶向A-plane(11-20) | A-plane ± 0.2° |
5 | Diameter 直徑 | 50.8±0.1mm, 100±0.1mm, 150±0.2mm |
6 | Thickness 厚度 | 420~440um, 640-660um,1300mm |
7 | Flat Length 平邊寬 | 16±1.0mm, 30±1.0mm, 47.5±1.5mm |
8 | Edge profile 倒邊 | R倒角 |
9 | TTV | ≤5um |
10 | BOW | 0~-10um |
11 | Warp | ≤15um |
12 | Front Side Roughness 正面粗糙度 | <0.3nm |
13 | LTV | ≤1.8um |
14 | R向(r-plane) | R9 |
15 | Back Side Roughness 背面粗糙度 | 0.8-1.2um |
16 | Laser Mark 激光標(biāo)記 | 背面打碼/Back side |
17 | Package 包裝 | 25 片/盒,25 pcs/cassette |
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